在镀膜过程中,膜厚读数有大的跳动

2.膜料应力大导致所镀膜层从晶振片表面剥离,翘层。

3.来自蒸发源(坩埚)的微颗粒或“溅物”,“杂质”打击到晶振片。

4.晶振片的基座(探头帽)的表面有小颗粒或有外来微粒(基座不正常)。

晶体不振荡或间歇振荡(在真空或大气中)

2.弹片已经失去弹力,变形,或断脚现象,以及弹片与陶瓷圈之间松动。

3.来自蒸发源的 RF 干扰。

晶体中大气中振荡,但在真空中停止振荡
双晶体或多晶体转换问题(不转换或不对准孔径中心)

2.镀膜材料聚集在盖上,使操作受阻

3.准直不正确 ( 主要为多探头 )

终止镀膜后,膜厚有大的偏离

2.外磁场干扰传感器的磁场,如离子源

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2026-07-05 17:15:42
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