Knengwell 6点位气动晶控探头

陕西柯能威尔科技有限公司的6点位气动探测器传感器,对于需要连续速率控制的长过程至关重。6点位气动探测器传感器探测器的一个传感头内含有6片石英监测片,无论在OLED、MBE、太阳能还是腔室通风间隔时间更长的其他流程中,均能保证安全性。与Cygnus 2、IC6、XTC/3M、XTC/3S、SQC310或SQC310C配合使用时,无论当前使用的晶片何时失效或变得不稳固,12点位气动探测器
传感器都能自动将新晶片旋转到位。晶片自动更替,而不会中断您的流程,从而可实现连续沉积速度监测。为了进一步最大程度地减少停机时间,晶片可预装到第二个可选转盘中,该转盘可以轻松快速地与装有废片的转盘交换,从而最大程度地减少系统开启的时间。
晶片转位通过一个气动机构完成。与竞争对手的采用高成本真空发热电机的单元相比,该气动机构可赋予
晶片更好的热稳定性。1/8英寸水冷管不仅使传感头保持
热稳定,而且允许灵活地放置传感器。
优势
•包含6片晶片,具有强大的自动切换功能,可最大限度地延长过程正常运行时间
•配备易于拆卸的转盘,可快速更换全部12片晶片
•晶片温度稳定,因为晶片切换以气动驱动方式实现(竞争对手的单元采用发热电机)
•1/8英寸管有助于保持热稳定性以及灵活地放置传感器
•易于拆卸的前沉积罩可防止晶片和转盘上积聚材料,从而最大限度地减少取出整个传感器以进行维护的需要

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