每个传感器包含6片晶片,传感器的设计持久耐用,能够最大限度地提高PVD精度和产量。KN-G6传感器的设计和制造目标是为一两片晶片的寿命无法坚持到完成整个过程的应用提供质量和可靠性都尽可能高的膜厚监测。
质量
最大限度地提高薄膜质量:长寿命设计、高质量制造和有效的晶片冷却可最大限度地提高精度。KN-G6将6片晶片封装在一个水冷隔热壳体中,确保晶片在温度高达300
摄氏度的环境中仍然具有出色的性能。
最大限度地提高产量:可在现场简单地维护,以最大限度地延长正常运行时间。晶片安装在一个易于拆卸的不锈钢晶片座中。通过向115伏(交流)或24伏(直流)电磁阀施加一个1秒脉冲,晶片位置气动地递增。一个7针连接器使开关单独对地闭合,以指示当前所用晶片的位置。
传感器配置
采用平头配置的KN-G6可通过O形圈密封馈入件(未包括)进行顶部安装。45度尖头配置则可通过腔室的侧面安装。标配传感头盖由不锈钢制成。对于温度至关重要的应用,可使用铜传感头盖。KN-G6提供的位于真空系统内的长度如下:
•200毫米(7.9英寸)
•350毫米(13.8英寸)
•450毫米(17.7英寸)
•540毫米(21.3英寸)
•650毫米(25.6英寸)
优势
•通过最高质量的设计和制造能力最大限度地提高产出和薄膜精度
•通过最大限度地延长正常运行时间提高产量
•晶片更换简单快捷,可最大限度地提高产量
•可在现场简单地维护和安装,从而节省时间