12点位气动探测器传感器，对于需要连续速率控制的长过程至关重。12点位气动探测器传感器探测器的一个传感头内含有12片石英监测片，无论在OLED、MBE、太阳能还是腔室通风间隔时间更长的其他流程中，均能保证安全性。结合膜厚控制仪可自动更换其晶体，而无需中断过程。晶体不稳定或失效时，膜厚仪会立即向传感器旋转传送带发送信号，要求其立即将新晶体旋转到位，从而实现持续沉积速率监控。为进一步最小化停工时间，可以将晶体预先加载到另一个可选旋转晶振片上，这样，可以直接轻松快速地更换装有失效晶体，从而最大限度缩短系统打开的时间。
晶片转位通过一个气动机构完成。与竞争对手的采用高成本真空发热电机的单元相比，该气动机构可赋予
晶片更好的热稳定性。1/8英寸水冷管不仅使传感头保持
热稳定，而且允许灵活地放置传感器。
优势
•包含12片晶片，具有强大的自动切换功能，可最大限度地延长过程正常运行时间
•配备易于拆卸的转盘，可快速更换全部12片晶片
•晶片温度稳定，因为晶片切换以气动驱动方式实现(竞争对手的单元采用发热电机)
•1/8英寸管有助于保持热稳定性以及灵活地放置传感器
•易于拆卸的前沉积罩可防止晶片和转盘上积聚材料，从而最大限度地减少取出整个传感器以进行维护的需要